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热阻蒸发

热阻蒸发

  • 所属分类:热阻蒸发
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2020-08-07 15:39:04
  • 产品概述

热阻蒸发系统

设备用途: 

热阻蒸发系统适用于制备金属薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。

设备组成:

该设备主要由金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。可配合手套箱组装。

技术参数:

极限真空度≤6.6×10-5Pa;

抽速:40分钟可达到6×10-4Pa;

热阻蒸发组件:2套;

有机蒸发束源炉组件:1套;

样品尺寸:φ100mm×1片;

样品台温度:300℃;

分子泵系统:1套;

膜厚监测仪(1个探头):1套;

冷却水路系统:1套;

自动控制系统:1套。

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